In-line characterization of nanostructured mass-produced polymer components using scatterometry
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Artikelnummer | 085004 |
Tidsskrift | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Vol/bind | 27 |
Udgave nummer | 8 |
Antal sider | 8 |
ISSN | 0960-1317 |
DOI | |
Status | Udgivet - 20 jul. 2017 |
ID: 186155187