Study on Microgratings Using Imaging, Spectroscopic, and Fourier Lens Scatterometry
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Artikelnummer | 031005 |
Tidsskrift | Journal of Micro and Nano-Manufacturing |
Vol/bind | 5 |
Udgave nummer | 3 |
ISSN | 2166-0468 |
DOI | |
Status | Udgivet - 7 jun. 2017 |
ID: 186122983